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硫化鎘陶瓷靶材的制備方法

727   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:58:02
本發(fā)明涉及功能材料技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種硫化鎘陶瓷靶材的制備方法。硫化鎘陶瓷靶材的制備方法,第一步,原料配制:CdS粉末以及助熔劑;第二步,混合:先將CdC12溶于熱水后與PVA水溶液混合均勻,用小噴壺噴灑到CdS粉末中,并充分?jǐn)嚢杈鶆?;第三步,烘干:將混合好的原料放入干燥箱中烘干;第四步,過篩:將烘干后篩選出30目的粉料顆粒;第五步,困料:過篩后的粉料顆粒密閉困料,確保水分均勻;第六步,成型:將粉料裝入模具進(jìn)行干壓成型;第七步,燒結(jié):將壓好的樣品放入坩堝內(nèi)進(jìn)行燒結(jié),采用真空燒結(jié)的方式,并真空隨爐冷卻至室溫,制成硫化鎘陶瓷靶材。通過本發(fā)明制備的靶材試樣能滿足磁控濺射鍍膜工藝對靶材的指標(biāo)要求。
聲明:
“硫化鎘陶瓷靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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