一種減少氮化鋁晶體生長前后熱應(yīng)力的碳化鉭復(fù)合層的制備方法及其使用方法,它屬于減少氮化鋁晶體生長前后熱應(yīng)力的方法領(lǐng)域。本發(fā)明要解決的技術(shù)問題為有效控制氮化鋁晶體生長前后熱應(yīng)力。本發(fā)明按照重量份數(shù)分別稱量TaC粉、Ta粉,置于球磨機(jī)中球磨,得到混合粉料進(jìn)行冷等靜壓成型,然后放入鎢模具的熱壓燒結(jié)爐內(nèi),以20?30MPa的壓力進(jìn)行真空燒結(jié)處理,然后降溫冷卻至室溫后表面均勻鋪灑稱量好的鋁粉,然后置于燒結(jié)爐中,以20?30MPa的壓力進(jìn)行真空熱壓燒結(jié),保溫完成后,充入高純氮氣,取消載荷,降溫后進(jìn)行氮化反應(yīng)后降溫冷卻至室溫,得到碳化鉭復(fù)合氮化鋁層材料再次進(jìn)行高溫碳化反應(yīng)得到復(fù)合層。本發(fā)明用于氮化鋁晶體。
聲明:
“減少氮化鋁晶體生長前后熱應(yīng)力的碳化鉭復(fù)合層的制備方法及其使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)