本發(fā)明提供一種硫化鎘靶材制備方法,將硫化鎘粉體裝入模具中預(yù)壓成型,得到預(yù)壓后的硫化鎘粉體;將所述預(yù)壓后的硫化鎘粉體裝入熱壓燒結(jié)爐內(nèi),熱壓真空燒結(jié),得到硫化鎘靶材。本發(fā)明硫化鎘靶材的制備,燒結(jié)與壓制是在同一臺設(shè)備,同一個工藝中同時進行的,中間環(huán)節(jié)和操作步驟少,對靶材和環(huán)境的污染小;使用高純硫化鎘粉體作為原料,不需要用到氯化鎘做助溶劑,靶材純度高。本發(fā)明還提供一種硫化鎘靶材制備裝置。
聲明:
“硫化鎘靶材制備方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)