本申請(qǐng)公開了一種碳化硅
復(fù)合材料制備方法,包括:取
碳納米管和碳化硅粉,二者固體成份比例范圍為2:98到5:95;將碳納米管配制成濃度3%?10%的碳納米管水溶液;將碳化硅粉投入所述碳納米管水溶液,球磨制成碳化硅混合漿料;將所述碳化硅混合漿料制成碳化硅復(fù)合坯體;將所述碳化硅復(fù)合坯體真空燒結(jié),制成碳化硅復(fù)合材料。一種碳化硅復(fù)合材料,由碳納米管和碳化硅制成,其中碳納米管的固體含量為2%~5%(質(zhì)量),其余為碳化硅。本發(fā)明解決了半導(dǎo)體用碳化硅陶瓷機(jī)械加工時(shí)崩瓷問題,進(jìn)一步提高了產(chǎn)品合格率和碳化硅陶瓷韌性,增強(qiáng)了碳化硅材料抗彎強(qiáng)度。
聲明:
“碳化硅復(fù)合材料及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)