本發(fā)明公開了一種生產低氧鉬鈮合金靶材的方法,包括以下步驟:1、將鉬粉放在真空燒結爐中進行熱處理;2、將鈮金屬粉與堿金屬鹵化物MX均勻混合得到混合粉;3、將步驟1中得到的鉬粉與步驟2得到的混合粉放入V型混料機中混合,放入膠套后通過冷等靜壓壓制成型;4、將壓錠放在真空?氫氣兩用燒結爐中進行熱處理。本發(fā)明相對于現(xiàn)有技術,該方法除氧成本低,效果好,所得鉬鈮合金靶材雜質、氧含量低,性能優(yōu)異。
聲明:
“低氧鉬鈮合金靶材的生產方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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