發(fā)明公開了熱蒸發(fā)硅法生成碳化硅涂層的方法。?本發(fā)明在聚丙肺腈
碳纖維表面合成SiC涂層。將硅粉或硅塊碎片放入石墨坩鍋底部,碳纖維橫置于坩鍋頂部,為了盡可能增加碳纖維與硅蒸汽的接觸并固定碳纖維,倒置同樣大小的坩鍋于擱置了碳纖維的坩鍋上,硅碎片和碳纖維之間始終保持距離。把這個裝置放入高溫真空燒結(jié)爐中,機械泵預(yù)抽真空1~5Pa,然后充入氬氣保護氣,再次用機械泵及擴散泵抽至10-4~10-2Pa,然后再次充入氬氣保護氣,關(guān)閉氬氣源。然后升溫到硅的熔點之上,保溫1~9小時,關(guān)掉電源,冷卻后取出纖維,纖維表面生成了一層碳化硅涂層。本發(fā)明具有設(shè)備簡單、無需氯
硅烷或聚碳硅烷先驅(qū)氣體和氫氣等一系列優(yōu)點。
聲明:
“熱蒸發(fā)硅法生成碳化硅涂層的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)