本發(fā)明公開了一種高密高純碳化硅制品的制備方法，包括：將碳化硅粗粉、碳化硅細(xì)粉、低聚硅烷和纖維素衍生物進(jìn)行超聲處理，將超聲后的混合料加水在捏煉機(jī)中捏煉成可塑泥料；對(duì)所述可塑泥料進(jìn)行噴霧造粒，得到碳化硅造粉粒；對(duì)所述碳化硅造粉粒進(jìn)行干壓一次成型，成型壓力為120～140MPa，得到濕坯，經(jīng)干燥后得生坯；在惰性氣體保護(hù)下，將生坯置于真空燒結(jié)爐進(jìn)行燒結(jié)反應(yīng)，燒結(jié)溫度為1500℃，燒結(jié)時(shí)間為0.5～3h，得預(yù)燒結(jié)體；在惰性氣體保護(hù)下，將所述預(yù)燒結(jié)體置于真空高溫?zé)Y(jié)爐中進(jìn)行再次升溫?zé)Y(jié)，出爐后得高密高純碳化硅制品。本發(fā)明制備的碳化硅制品具有耐高溫、高純度、高密度、成本低廉、耐腐蝕、使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。