提供無(wú)需解除下游側(cè)設(shè)備的真空就能夠更換靶材的離子源。靶材(13)配置在被排氣成真空的真空容器(10)內(nèi),且通過(guò)激光的照射產(chǎn)生離子。具有輸送管(17)、小孔(18)、中間電極(19)以及加速電極(20)的輸送部將由靶材產(chǎn)生的離子朝與離子源連接的下游側(cè)的設(shè)備輸送。在更換配置于真空容器(10)內(nèi)的靶材時(shí),真空密封用盤(pán)(24)對(duì)輸送部進(jìn)行密封,以將真空容器(10)側(cè)與下游側(cè)的設(shè)備側(cè)的真空分離。
聲明:
“離子源” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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