本發(fā)明是一種制備高純磷烷規(guī)?;B續(xù)生產(chǎn)方法和裝置的研制,屬于電子氣體制備純化技術(shù)領(lǐng)域;該方法包括步驟(1)、粗制磷烷的制備過(guò)程:先用亞磷酸加熱反應(yīng)得到粗制磷烷;和(2)、高純磷烷的純化過(guò)程:對(duì)粗制磷烷采用液氮冷阱低溫真空分離、分子篩吸附干燥和鎵?銦合金深吸附脫水、氧。本發(fā)明所述的方法能深度脫除氧、水和碳?xì)浠衔锏入娮硬牧现杏泻﹄s質(zhì),一般可以達(dá)到0.01~0.1ppm以下;純化劑主體鎵?銦合金可以反復(fù)使用,使用壽命除化學(xué)處理稍許損失外,理論上具有很長(zhǎng)的使用壽命。
聲明:
“高純磷烷規(guī)?;B續(xù)生產(chǎn)方法和裝置的研制” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)