本發(fā)明提供了一種氧化亞硅材料及其制備方法和應(yīng)用、裝置,氧化亞硅材料包括硅、金屬的硅酸鹽以及硅/金屬合金;金屬的硅酸鹽、硅/金屬合金中的金屬為堿金屬、堿土金屬中的一種或多種;制備方法包括以下步驟:在真空條件下,氧化亞硅蒸汽和金屬蒸汽混合均勻后,再通過(guò)通管進(jìn)入沉積腔中降溫并進(jìn)行共沉積。本發(fā)明通過(guò)讓氧化亞硅蒸汽和金屬蒸汽共沉積,金屬蒸汽會(huì)與氧化亞硅中的活性硅形成一定的合金,提高材料的導(dǎo)電性,同時(shí)金屬蒸汽會(huì)與氧化亞硅中的二氧化硅反應(yīng)生成一定的硅酸鹽,穩(wěn)定材料結(jié)構(gòu)的同時(shí)也可以讓材料在首次充放電過(guò)程中的副反應(yīng)減少,解決了氧化亞硅作為硅氧材料的導(dǎo)電性差和材料首效低的問(wèn)題,同時(shí)本發(fā)明方法簡(jiǎn)單,易于操作。
聲明:
“氧化亞硅材料及其制備方法和應(yīng)用、裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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