本發(fā)明公開了一種迭代水熱法提純石英砂的工藝及高純石英砂。所述工藝包括預(yù)處理、煅燒、過篩、酸浸和清洗的步驟,其中煅燒和酸浸步驟進(jìn)行迭代處理。本發(fā)明以石英砂精礦為原料,在改進(jìn)的水熱法基礎(chǔ)上,通過對關(guān)鍵步驟的科學(xué)迭代處理工藝,對石英砂進(jìn)行提純,充分發(fā)揮了高溫煅燒和水熱酸浸過程對石英砂的純化作用,使雜質(zhì)去除效益得到最大化。本發(fā)明得到的高純石英砂純度不低于99.998%且雜質(zhì)含量低于20ppm,能滿足半導(dǎo)體行業(yè)的使用需求。
聲明:
“迭代水熱法提純石英砂的工藝及高純石英砂” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)