本發(fā)明涉及一種帶
石墨烯層的半導(dǎo)體激光器熱沉,包括從下至上依次沉積的基體材料層、無(wú)氧銅層和石墨烯層,所述基體材料層采用的材料是氮化鋁陶瓷、
氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷、氮化硅陶瓷、碳化硅或氮化硼中的任意一種。本發(fā)明還對(duì)應(yīng)給出了制作所述熱沉的方法。本發(fā)明采用石墨烯層作為熱沉的散熱材料,充分利用石墨烯熱導(dǎo)率高的物理特性,將半導(dǎo)體激光器工作時(shí)產(chǎn)生的熱量傳導(dǎo)出來并發(fā)散掉,能夠在不增加半導(dǎo)體激光器重量、體積的情況下,大幅提高半導(dǎo)體激光器的散熱能力,降低半導(dǎo)體激光器工作時(shí)的溫度,保證半導(dǎo)體激光器的光電性能和可靠性,延長(zhǎng)半導(dǎo)體激光器的壽命。
聲明:
“帶石墨烯層的半導(dǎo)體激光器熱沉及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)