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鋁鈧旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法

769   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:01:02
本發(fā)明公開了鋁鈧旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法,其中制備方法包括以下步驟:燒結(jié)、球磨、過篩制備鋁鈧粉末;預(yù)處理不銹鋼基體管;使用電弧噴涂方法噴涂合金打底層;在含有合金打底層的不銹鋼基體上使用可控氣氛冷噴涂方法噴涂鋁鈧粉末制備旋轉(zhuǎn)靶材,工藝參數(shù)為:使用真空機(jī)組對(duì)噴涂腔體抽取真空,再通入循環(huán)保護(hù)氣氬氣,噴嘴進(jìn)口處工作溫度為300~700℃,壓力為2~5Mpa,工作氣體為氬氣,其壓力為2.5~4.5Mpa,溫度為400~900℃,氣體流量為20~50m3/h,噴涂距離為40~60mm,送粉氣流量為200~400l/h,送粉量為30~60g/min。通過本發(fā)明制備的鋁鈧旋轉(zhuǎn)靶材組織致密、純度高、成分均勻,靶材直徑和長(zhǎng)度不受限制,長(zhǎng)度可達(dá)到4000mm,厚度為3~15mm,靶材相對(duì)密度≥97%,純度≥99.99%,氧含量≤200ppm。
聲明:
“鋁鈧旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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