本發(fā)明涉及一種鋁鈧合金靶坯及其制備方法及應(yīng)用。其中,鋁鈧合金靶坯包括:16?50重量份的鈧,50?84重量份的鋁,鋁鈧合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述鋁鈧合金靶坯具有鈧含量高、含氧量低,進(jìn)而使得制備的靶坯不會發(fā)生異常放電或粒子濺疤,能夠保證后期高品質(zhì)成膜。
聲明:
“鋁鈧合金靶坯及其制備方法及應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)