本發(fā)明涉及一種梯形陣列式壓力傳感器的制備方法,包括以下步驟:S1)利用金屬材料制備梯形長(zhǎng)條狀的金屬模板;S2)、利用電泳技術(shù)將導(dǎo)電增強(qiáng)材料均勻分布到金屬模板上;S3)、在金屬模板上均勻涂覆一層厚度為50?500微米的PDMS薄膜層;S4)、脫模,將導(dǎo)電增強(qiáng)材料轉(zhuǎn)移到具有梯形長(zhǎng)條狀陣列結(jié)構(gòu)的PDMS薄膜層上;S5)、利用氧化銦錫(ITO)在PDMS薄膜層外包覆一層導(dǎo)電層,然后再包覆一層PET層,然后封裝得到壓力傳感器。本發(fā)明制備工藝簡(jiǎn)單,成本低廉,適合工業(yè)化生產(chǎn);通過(guò)電泳吸附,利用電流的均勻分布,提高導(dǎo)電材料分布的均勻性;Ag納米線等導(dǎo)電增強(qiáng)材料附著在PDMS表面的微納結(jié)構(gòu),一旦微納結(jié)構(gòu)發(fā)生變形,即可迅速產(chǎn)生響應(yīng),有利于提高器件的響應(yīng)的靈敏度。
聲明:
“梯形陣列式壓力傳感器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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