本發(fā)明公開一種用于薄晶粒分離裝置及方法,首先,使用由多個推針組成的分離裝置使所述的晶粒從粘性膜表面部分脫離,進(jìn)而使用一夾套夾取薄晶粒,并將薄晶粒自粘性膜的粘性表面分離;每個推針大體上對準(zhǔn)該欲分離晶粒幾何形狀的角處,且與該晶粒邊緣保持預(yù)定距離,并用以接觸和抬起該粘性膜上未粘附該晶粒的一表面。
聲明:
“薄晶粒分離裝置與方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)