一種薄膜形成裝置,包括:具有多個(gè)噴涂液體用噴孔的涂液噴頭;使沉積了上述涂液的上述涂敷基片繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置;使上述涂液噴頭和涂敷基片在該基片鄰近轉(zhuǎn)軸的附近區(qū)域和離開轉(zhuǎn)軸的離開區(qū)域之間作互為相對移動的相對移動裝置;相對移動控制裝置,使隨著上述涂液噴頭和基片的相對位置從所鄰近轉(zhuǎn)軸區(qū)域相對移向離開轉(zhuǎn)軸區(qū)域時(shí),相應(yīng)減少相對移動速度和旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)角速度。根據(jù)本發(fā)明,可用簡單的控制制得均勻的薄膜。
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“薄膜形成裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)