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加熱裝置、真空加熱方法和薄膜制造方法

912   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:22
一種加熱裝置,其具備:應(yīng)在真空中被加熱的被加熱體;構(gòu)成為能夠從被加熱體分離、并且在自身與被加熱體之間形成有間隙的加熱體;和用于向間隙導(dǎo)入傳熱氣體的氣體導(dǎo)入路徑。被加熱體通過傳熱氣體由加熱體加熱。加熱裝置的例子是蒸著裝置(30)。被加熱體的例子是保持蒸鍍材料,并且具有供蒸發(fā)了的蒸鍍材料通過的開口部的貯藏容器(9)。加熱體的例子是可拆裝地收納貯藏容器(9)、并且為了對貯藏容器(9)內(nèi)的蒸鍍材料進(jìn)行加熱而具有加熱器(20)的加熱容器(10)。氣體導(dǎo)入路徑的例子是氣體導(dǎo)入管(11)。
聲明:
“加熱裝置、真空加熱方法和薄膜制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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