4在磁電傳感器單元中的應(yīng)用、磁電傳感器單元及其制備方法,探礦技術(shù)"> 4在磁電傳感器單元中的應(yīng)用、磁電傳感器單元及其制備方法,本發(fā)明提供一種白鎢礦相的DyCrO4在磁電傳感器單元中的應(yīng)用。本發(fā)明還提供一種磁電傳感器單元,包括:襯底,位于襯底上的下電極,位于下電極上的介質(zhì)層,和位于介質(zhì)層上的上電極;其中,所述介質(zhì)層由白鎢礦相的DyCrO4形成。本發(fā)明還提供一種制備本發(fā)明的磁電傳感器單元的方法,包括如下步驟:(1)在襯底上形成下電極;(2)以白鎢礦相的DyCrO4為靶材,在所述下電極上形成介質(zhì)層;(3)在所述介質(zhì)層上形成上電極。本發(fā)明提供的磁電傳感器單元結(jié)構(gòu)簡單并且由單相材料形成。本">
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