4在磁電傳感器單元中的應(yīng)用、磁電傳感器單元及其制備方法,探礦技術(shù)"> 4在磁電傳感器單元中的應(yīng)用、磁電傳感器單元及其制備方法,本發(fā)明提供一種白鎢礦相的DyCrO4在磁電傳感器單元中的應(yīng)用。本發(fā)明還提供一種磁電傳感器單元,包括:襯底,位于襯底上的下電極,位于下電極上的介質(zhì)層,和位于介質(zhì)層上的上電極;其中,所述介質(zhì)層由白鎢礦相的DyCrO4形成。本發(fā)明還提供一種制備本發(fā)明的磁電傳感器單元的方法,包括如下步驟:(1)在襯底上形成下電極;(2)以白鎢礦相的DyCrO4為靶材,在所述下電極上形成介質(zhì)層;(3)在所述介質(zhì)層上形成上電極。本發(fā)明提供的磁電傳感器單元結(jié)構(gòu)簡單并且由單相材料形成。本">

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白鎢礦相的DyCrO4在磁電傳感器單元中的應(yīng)用、磁電傳感器單元及其制備方法

732   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-01 00:40:06
本發(fā)明提供一種白鎢礦相的DyCrO4在磁電傳感器單元中的應(yīng)用。本發(fā)明還提供一種磁電傳感器單元,包括:襯底,位于襯底上的下電極,位于下電極上的介質(zhì)層,和位于介質(zhì)層上的上電極;其中,所述介質(zhì)層由白鎢礦相的DyCrO4形成。本發(fā)明還提供一種制備本發(fā)明的磁電傳感器單元的方法,包括如下步驟:(1)在襯底上形成下電極;(2)以白鎢礦相的DyCrO4為靶材,在所述下電極上形成介質(zhì)層;(3)在所述介質(zhì)層上形成上電極。本發(fā)明提供的磁電傳感器單元結(jié)構(gòu)簡單并且由單相材料形成。本發(fā)明利用高溫高壓的方法處理,使得DyCrO4表現(xiàn)出了穩(wěn)定有效的磁電耦合多鐵性質(zhì),為磁電耦合材料的探索發(fā)現(xiàn)提供了新的途徑。
聲明:
“白鎢礦相的DyCrO4在磁電傳感器單元中的應(yīng)用、磁電傳感器單元及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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