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微半環(huán)凹模陣列化學-機械分級復合制造方法

966 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 15:02:31

一種微半環(huán)凹模陣列化學-機械分級復合制造方法，包括如下步驟：1)制作精密球陣列研拋模；2)第一級研拋：采用精密球陣列研拋模，通過化學-機械加工方法實現(xiàn)微凹模陣列的形狀構型；3)第二級研拋：采用所述精密球陣列研拋模進行第二次研拋，通過調(diào)整超聲振動的參數(shù)和Z向進給參數(shù)，使得工件的材料去除形式轉(zhuǎn)變?yōu)椴牧纤苄匀コ?，降低研拋液中HNA溶液的濃度，減緩HNA溶液對功能材料的化學腐蝕速度；第二次研拋材料去除形式是微細超聲振動下的材料塑性去除和HNA溶液對襯底材料的緩慢化學腐蝕作用，可以對微凹模進行修形和表面質(zhì)量提升。本發(fā)明的加工效果:高形狀精度、低表面粗糙度、高表面質(zhì)量、高效率。

聲明：

“微半環(huán)凹模陣列化學-機械分級復合制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)