一種鋁摻雜氧化鋅納米線的制備方法,屬于光電信息
功能材料領(lǐng)域。本方法以ZN粉和AL粉為蒸發(fā)源,相鄰放置在三氧化二鋁舟中,清洗后的硅片放置在蒸發(fā)源的正上方,距離源的垂直距離為1~2MM,然后將舟放入水平管式爐中;將管式爐升溫至800℃~850℃,保溫45~60MIN,在整個(gè)生長(zhǎng)過(guò)程中,爐腔內(nèi)始終充入40~50ML/MIN的氬氣,生長(zhǎng)結(jié)束后管式爐自然冷卻到室溫,取出硅片,在硅片表面沉積有AL摻雜ZNO納米線。本方法無(wú)需真空設(shè)備,只需在常壓條件下就可以合成出直徑為40~370NM,長(zhǎng)達(dá)30~150ΜM的AL摻雜ZNO納米線,而且合成溫度低,從而大大降低了生產(chǎn)成本。
聲明:
“鋁摻雜氧化鋅納米線的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)