本發(fā)明提供了一種極紫外波段薄膜濾片及其制備方法和應(yīng)用，屬于環(huán)境功能材料和水污染控制技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明在Mg中摻Si，一定程度上可減小Mg的應(yīng)力，Si可以穿透Mg的晶格，抑制Mg的結(jié)晶，并且原子半徑較小的Si占據(jù)Mg膜中的空位而產(chǎn)生拉伸作用，這種拉伸作用隨著Si摻雜質(zhì)量分?jǐn)?shù)的增大逐漸占據(jù)對(duì)薄膜應(yīng)力的主導(dǎo)作用，從而使Mg從壓應(yīng)力轉(zhuǎn)變?yōu)閺垜?yīng)力，進(jìn)而提高了極紫外波段薄膜的機(jī)械性能，同時(shí)不影響透過率。