本發(fā)明屬于功能材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種在薄膜材料中兼容遠紅外透明與導(dǎo)電性能的方法，通過設(shè)計光頻介電常數(shù)大于15的介質(zhì)薄膜，并引入濃度為25?35％的陰離子空位以實現(xiàn)遠紅外透明與導(dǎo)電性能的兼容；具體通過制備菱方相的Bi2Tex材料來獲得光頻介電常數(shù)大于15的介質(zhì)薄膜，Bi2Tex材料的制備工藝包括如下步驟：將純Bi2Te3靶安裝在磁控射頻濺射靶中，采用硅片或硫化鋅片作為襯底；抽真空度，通入高純Ar氣；控制純Bi2Te3靶的濺射功率，在基底上沉積；沉積得到薄膜材料后，采用管式爐退火。本發(fā)明方法設(shè)計科學(xué)合理，相比較于傳統(tǒng)通過調(diào)控載流子濃度或有效質(zhì)量方法，其能夠在薄膜材料中很好地實現(xiàn)兼容遠紅外透明與導(dǎo)電性能。