本發(fā)明屬于材料科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,涉及到無(wú)機(jī)非金屬功能材料在電子器件中的應(yīng)用。其特征在于采用無(wú)襯底自由純凈金剛石厚膜,作為一種體材料應(yīng)用于聲表面波濾波器中,作為其襯底材料;應(yīng)用自由站立金剛石厚膜的成核面,經(jīng)過(guò)表面機(jī)械及光學(xué)研磨拋光處理,作為沉積叉指換能器和壓電薄膜的表面,采用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體器件制備工藝制備出氧化鋅/金剛石層狀結(jié)構(gòu)的聲表面波器件。本發(fā)明的效果和益處是不僅利用了金剛石高彈性系數(shù)、高聲速的性能,可明顯提高器件的響應(yīng)頻率,而且充分利用金剛石最高熱導(dǎo)率的優(yōu)勢(shì),使SAW器件具有高功率耐久性的特點(diǎn)。提出利用表面平整光滑的金剛石膜成核面作為沉積壓電薄膜表面的方法,解決了金剛石膜生長(zhǎng)面難以加工的技術(shù)難題。