提供了一種柔性壓力傳感器及其制作方法。該柔性壓力傳感器包括:柔性電極;復(fù)合物電介質(zhì)薄膜,設(shè)置于柔性電極上;高介電常數(shù)膠粘層,涂布于復(fù)合物電介質(zhì)薄膜上;泡沫多孔電極,覆蓋于高介電常數(shù)膠粘層上。本發(fā)明采用高介電常數(shù)的復(fù)合物薄膜為介電層,能夠顯著提升柔性壓力傳感器的電容變化量,從而提升柔性壓力傳感器的靈敏度;同時(shí)電容量的增大減小了寄生電容和電磁干擾對柔性壓力傳感器工作穩(wěn)定性的影響,提高了抗干擾能力。
聲明:
“柔性壓力傳感器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)