本發(fā)明公開了一種Fe摻雜NiO復(fù)合材料及半導(dǎo)體氣敏元件，所述復(fù)合材料方法如下：將含有Fe3+的鹽、含有Ni2+的鹽以及六次甲基四胺加入到含有乙醇銨的乙醇水溶液中，制成混合溶液；再將所述混合溶液置于高溫反應(yīng)釜中反應(yīng)，反應(yīng)物經(jīng)洗滌干燥后，得到Fe摻雜NiO前驅(qū)體，將所述前驅(qū)體煅燒后，即得到Fe摻雜NiO復(fù)合材料。半導(dǎo)體氣敏元件包含所述的Fe摻雜NiO復(fù)合材料。本發(fā)明制備的Fe摻雜NiO復(fù)合材料對于丙酮氣體有著優(yōu)異的敏感度，在低溫280℃，100ppm的丙酮濃度下，氣體敏感度高達21.8，是相同條件下，純相NiO的6倍，在被測氣體范圍（丙酮、氨水、甲醇、苯、甲苯、甲醛和乙醇）中對丙酮氣體有著高的選擇性。