本發(fā)明一種SiCf/SiC陶瓷基復(fù)合材料加工表面質(zhì)量定量評(píng)價(jià)方法，屬于檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域；首先，對(duì)于SiCf/SiC陶瓷基復(fù)合材料加工表面，采用光學(xué)掃描儀器進(jìn)行表面粗糙度測(cè)量，避免由于孔隙和凹坑等缺陷導(dǎo)致接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量時(shí)卡住。其次，將三維表面粗糙度Sa作為SiCf/SiC陶瓷基復(fù)合材料加工表面質(zhì)量特征參數(shù)，并提出在進(jìn)行Sa測(cè)量時(shí)應(yīng)該使測(cè)量區(qū)域內(nèi)包含多根纖維束和基體，以保證測(cè)量結(jié)果的有效性。最后提出了加工表面整體損傷因子δ，將其作為對(duì)SiCf/SiC陶瓷基復(fù)合材料加工表面進(jìn)行質(zhì)量評(píng)價(jià)的第二個(gè)定量評(píng)價(jià)參數(shù)。本發(fā)明可以提高研究中評(píng)價(jià)的全面性和準(zhǔn)確性，并為SiCf/SiC陶瓷基復(fù)合材料加工表面質(zhì)量的準(zhǔn)確評(píng)價(jià)提供了有益的指導(dǎo)。