光敏特性的二氧化鍺基有機(jī)-無(wú)機(jī)復(fù)合材料的制備方法,以二氧化鍺作為無(wú)機(jī)基質(zhì)和有機(jī)改性硅酸鹽(含光敏基團(tuán))為有機(jī)基質(zhì)的低溫有機(jī)-無(wú)機(jī)復(fù)合光敏材料,通過(guò)基于其有機(jī)光敏功能基團(tuán)以實(shí)現(xiàn)具有光敏特性同時(shí)集光波導(dǎo)特性于一身的有機(jī)-無(wú)機(jī)復(fù)合光電子材料。采用改進(jìn)溶膠-凝膠技術(shù)結(jié)合低溫有機(jī)-無(wú)機(jī)合成技術(shù)制備具有合成溫度低、工藝要求簡(jiǎn)單、而且重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明同時(shí)通過(guò)該類低溫復(fù)合材料的紫外光敏特性結(jié)合掩模技術(shù)或其它激光技術(shù)可進(jìn)行低成本的光波導(dǎo)器件或其它微光器件的制作。特別是基于在低溫下具有數(shù)微米厚、折射率可調(diào)和紫外光敏特性的單層光學(xué)質(zhì)量波導(dǎo)薄膜,所以非常利于實(shí)現(xiàn)微納光電子器件的集成化和批量制作。