本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高靈敏壓力傳感器,它由殼體、硅杯、進(jìn)氣口和引線(xiàn)組成,其主要特征是硅杯上覆蓋有硅膜片,硅膜片上設(shè)有氧化層,硅杯下部的高壓腔與進(jìn)氣口連通,氧化層上設(shè)有納米硅力敏電阻,本實(shí)用新型靈敏性高,穩(wěn)定性好,溫度范圍寬,可廣泛使用于汽車(chē)、探礦及軍事工程。
聲明:
“高靈敏壓力傳感器” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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