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氮化鋁基復(fù)合材料、其制造方法及半導(dǎo)體制造裝置用部件

876   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:44:02
本發(fā)明提供一種具有與氧化鋁同等或其以上耐蝕性和體積電阻率且具有比氧化鋁更高的熱傳導(dǎo)率的新型材料。本發(fā)明的氮化鋁基復(fù)合材料為過渡金屬、堿金屬、硼的各元素分別為1000ppm以下的高純度的氮化鋁基復(fù)合材料,其熱傳導(dǎo)率為40~150W/mK,熱膨脹系數(shù)為7.3~8.4ppm/℃,體積電阻率為1×1014Ωcm以上,作為構(gòu)成相含有AlN和MgO,進(jìn)而含有從由稀土金屬氧化物、稀土金屬-鋁復(fù)合氧化物、堿土金屬-鋁復(fù)合氧化物、稀土金屬氧氟化物、氧化鈣和氟化鈣構(gòu)成的組中選擇的至少一種。
聲明:
“氮化鋁基復(fù)合材料、其制造方法及半導(dǎo)體制造裝置用部件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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