2O3涂層的物理氣相沉積方法,復(fù)合材料"> 2O3涂層的物理氣相沉積方法,本發(fā)明涉及一種纖維增強(qiáng)金屬基復(fù)合材料Y2O3涂層的物理氣相沉積方法,本發(fā)明的步驟如下:將帶C涂層的連續(xù)SiC纖維纏繞到樣品架上,放入到磁控濺射設(shè)備的樣品室;抽真空使背底真空優(yōu)于8×10?4Pa,通入Ar氣,對樣品架施加?500~?2000V高偏壓,對纖維表面進(jìn)行離子清洗;再通入反應(yīng)氣體氧氣,結(jié)合閘板閥控制工作壓強(qiáng);啟動濺射電源,在濺射過程中交替控制氧氣流量或?yàn)R射偏壓獲得不同Y2O3相(單斜/立方),實(shí)現(xiàn)相結(jié)構(gòu)交替涂層;關(guān)閉濺射,在Ar氣保護(hù)環(huán)境下,冷卻至5">

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纖維增強(qiáng)金屬基復(fù)合材料Y2O3涂層的物理氣相沉積方法

680   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:58:02
本發(fā)明涉及一種纖維增強(qiáng)金屬基復(fù)合材料Y2O3涂層的物理氣相沉積方法,本發(fā)明的步驟如下:將帶C涂層的連續(xù)SiC纖維纏繞到樣品架上,放入到磁控濺射設(shè)備的樣品室;抽真空使背底真空優(yōu)于8×10?4Pa,通入Ar氣,對樣品架施加?500~?2000V高偏壓,對纖維表面進(jìn)行離子清洗;再通入反應(yīng)氣體氧氣,結(jié)合閘板閥控制工作壓強(qiáng);啟動濺射電源,在濺射過程中交替控制氧氣流量或?yàn)R射偏壓獲得不同Y2O3相(單斜/立方),實(shí)現(xiàn)相結(jié)構(gòu)交替涂層;關(guān)閉濺射,在Ar氣保護(hù)環(huán)境下,冷卻至50℃以下。本發(fā)明中單斜/立方相交替形成的層界面有效降低了應(yīng)力和改善附著力,制備出界面完好的SiC纖維增強(qiáng)鎳基復(fù)合材料,有助于實(shí)現(xiàn)高性能纖維增強(qiáng)鎳基復(fù)合材料的制備。
聲明:
“纖維增強(qiáng)金屬基復(fù)合材料Y2O3涂層的物理氣相沉積方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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