2O3涂層的物理氣相沉積方法,復(fù)合材料"> 2O3涂層的物理氣相沉積方法,本發(fā)明涉及一種纖維增強(qiáng)金屬基復(fù)合材料Y2O3涂層的物理氣相沉積方法,本發(fā)明的步驟如下:將帶C涂層的連續(xù)SiC纖維纏繞到樣品架上,放入到磁控濺射設(shè)備的樣品室;抽真空使背底真空優(yōu)于8×10?4Pa,通入Ar氣,對樣品架施加?500~?2000V高偏壓,對纖維表面進(jìn)行離子清洗;再通入反應(yīng)氣體氧氣,結(jié)合閘板閥控制工作壓強(qiáng);啟動濺射電源,在濺射過程中交替控制氧氣流量或?yàn)R射偏壓獲得不同Y2O3相(單斜/立方),實(shí)現(xiàn)相結(jié)構(gòu)交替涂層;關(guān)閉濺射,在Ar氣保護(hù)環(huán)境下,冷卻至5">
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