本發(fā)明提供一種納米二氧化硅-納米氮化硅復(fù)合材料，包括多個由納米二氧化硅包覆在納米氮化硅表面形成的微粒，其中，所述納米氮化硅與納米二氧化硅的質(zhì)量比為1:1~10:1。納米氮化硅與納米二氧化硅按質(zhì)量比1∶1~10:1進行復(fù)合，使得該復(fù)合材料的穩(wěn)定性好，介電常數(shù)較低，能夠廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路電子封裝等領(lǐng)域。本發(fā)明還提供一種納米二氧化硅-納米氮化硅復(fù)合材料的制備方法。