一種平面往復(fù)運(yùn)動(dòng)噴射沉積多層
復(fù)合材料的制備設(shè)備,包括:真空爐體和處于真空爐體內(nèi)的沉積基板升降機(jī)構(gòu)、沉積基板、低溫惰性氣體強(qiáng)制冷卻裝置、惰性氣體噴射加壓裝置、保護(hù)氣體進(jìn)氣閥、坩堝噴槍組、感應(yīng)加熱裝置、水平往復(fù)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)板及處于真空爐體上的抽真空裝置、排氣閥、進(jìn)氣閥。沉積基板處于水平往復(fù)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)板上。沉積基板升降機(jī)構(gòu)與水平往復(fù)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)板連接。坩堝噴槍組位于沉積基板上方,與惰性氣體噴射加壓裝置和感應(yīng)加熱裝置連接。低溫惰性氣體強(qiáng)制冷卻裝置位于沉積基板的上方。沉積基板位于水平往復(fù)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)板上。本實(shí)用新型可以將多種金屬及合金,通過(guò)熔煉,噴射制備成大塊層狀復(fù)合材料,通過(guò)強(qiáng)制冷卻,可以獲得大塊沉積多層堆積的非晶、納米晶金屬材料。
聲明:
“平面往復(fù)運(yùn)動(dòng)噴射沉積多層復(fù)合材料的制備設(shè)備” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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