本發(fā)明涉及一種基于納米氧化鈦復(fù)合材料的氟化硫酰氣體傳感器及其制備方法和應(yīng)用；屬于氣體傳感器開發(fā)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明所述傳感器包括基板、電極以及Pt/氧化鈦/氧化硅涂層；所述電極設(shè)置在基板上；所述Pt/氧化鈦/氧化硅涂層均勻涂敷在電極上。其制備方法為：按設(shè)計(jì)組分配取硅源、鈦源鉑源，將所配取的硅源和鈦源進(jìn)行反應(yīng)，通過共沉淀，得到沉淀物煅燒，得到氧化鈦/氧化硅粉末；將配取的鉑源與氧化鈦/氧化硅粉末混合均勻后，反應(yīng)，得到Pt/氧化鈦/氧化硅粉末；最后將Pt/氧化鈦/氧化硅粉末加入溶液中制成溶膠后，涂覆在帶有電極的基板上，干燥，得到所述傳感器。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，所的產(chǎn)品使用方便，便于大規(guī)模的應(yīng)用。