本發(fā)明涉及一種基于氧化鋯
復(fù)合材料的濕敏傳感器,該濕敏傳感器為電阻式,包括硅片襯底,在硅片襯底上設(shè)有WO3薄膜,WO3薄膜之上設(shè)有插指電極,并且在WO3薄膜之上、插指電極四周設(shè)有ZrO2薄膜,在插指電極和ZrO2薄膜之上設(shè)有CeO2薄膜,即,在WO3薄膜和CeO2薄膜之間設(shè)有插指電極和ZrO2薄膜;這樣使得該插指電極能夠同時接觸WO3薄膜、CeO2薄膜和ZrO2薄膜。
聲明:
“基于氧化鋯復(fù)合材料的濕敏傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)