本發(fā)明公開了一種用于UVC LED的藍(lán)寶石基氮化鋁復(fù)合材料的制備方法，包括如下步驟：(1)襯底預(yù)處理；(2)靶材預(yù)處理；(3)在射頻電源的作用下，設(shè)備腔體中的氬氣和氮?dú)獍l(fā)生輝光放電，形成等離子體，Ar+離子轟擊鋁靶材，濺射出鋁原子，鋁原子與等離子體中的氮原子發(fā)生反應(yīng)，在襯底上形成AlN緩沖層；(4)N2、Ar氣氛下，采用磁控濺射沉積，在襯底上形成AlN薄膜；其中，磁控濺射沉積AlN薄膜時(shí)N2與Ar體積之比為1:1?1.5。本發(fā)明提供了一種藍(lán)寶石基氮化鋁薄膜復(fù)合新材料的制備方法，極大地改善了氮化鋁薄膜的質(zhì)量，同時(shí)也拓寬了藍(lán)寶石基氮化鋁的應(yīng)用條件，特別是在UVCLED方面的應(yīng)用。