本發(fā)明屬于柔性壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于生物材料向日葵花花粉和碳化鈦
復(fù)合材料的柔性壓力傳感器及其制備方法。該方法制作出的器件依次由下柔性襯底、下金屬電極、20~40μm厚的向日葵花花粉/碳化鈦復(fù)合薄膜傳感層、上金屬電極和上柔性襯底組成。本發(fā)明所述器件受到外力會(huì)引起傳感層發(fā)生形變,厚度減小,進(jìn)而引起材料電阻減小,相應(yīng)的輸出電流信號(hào)增加。與傳統(tǒng)的壓力傳感器相比,本發(fā)明制備的壓力傳感器,不僅具有良好的柔性、高穩(wěn)定性、高靈敏度和較快的響應(yīng)恢復(fù)時(shí)間,而且具有生物相容性,更可以大規(guī)模大面積制作傳感器陣列,適合用于可穿戴電子皮膚、醫(yī)療健康和智能機(jī)器人等領(lǐng)域。
聲明:
“基于生物材料向日葵花花粉和碳化鈦復(fù)合材料的柔性壓力傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)