本實(shí)用新型提供了一種板式PECVD系統(tǒng)中的鍍膜載板部件，包括鍍膜載板、兩根石墨導(dǎo)軌、兩根碳?碳復(fù)合材料導(dǎo)軌、碳?碳復(fù)合材料螺桿以及碳?碳復(fù)合材料六角螺母；鍍膜載板的設(shè)置有內(nèi)六角沉頭式通孔的邊部、石墨導(dǎo)軌、碳?碳復(fù)合材料導(dǎo)軌按照從上到下的順序依次疊加在一起且通過碳?碳復(fù)合材料螺桿以及碳?碳復(fù)合材料六角螺母連接在一起；碳?碳復(fù)合材料螺桿以及碳?碳復(fù)合材料六角螺母在酸洗過程中不會(huì)被氫氟酸腐蝕；碳?碳復(fù)合材料螺桿的機(jī)加工難度、機(jī)加工工作量以及切削量均比較??；內(nèi)六角沉頭式通孔與碳?碳復(fù)合材料六角螺母均為六角結(jié)構(gòu)，可以卡著固定碳?碳復(fù)合材料六角螺母，可以定位與卡位，在上下方向上對齊擺正，提高了安裝精度。