本發(fā)明提供了一種復合精細遮罩，其包括復合材料薄片以及框架結構。復合材料薄片包括第一聚合物層、設置在第一聚合物層的第一表面的第一金屬層以及設置在第一聚合物層的第二表面的第二金屬層，其中第二表面相反于第一表面。復合材料薄片具有第一區(qū)和第二區(qū)，第一區(qū)環(huán)繞第二區(qū)，且復合材料薄片的第二區(qū)包括復數個圖案化孔洞?？蚣芙Y構焊接于復合材料薄片的第一區(qū)，其中框架結構包括框架以及設置在框架與第二金屬層之間的應力調整層。應力調整層包括第二聚合物層、設置在第二聚合物層與框架之間的第三金屬層以及設置在第二聚合物層和復合材料薄片之間的第四金屬層。