本發(fā)明提供一種適用于鈦合金表面的納米多層薄膜及其制備方法,該多層薄膜從鈦合金表面向外依次為氮化鈦薄膜層、碳化鈦薄膜層、氮化鈦薄膜層、碳化鈦薄膜層以及摻鋁的類金剛石薄膜層;該制備方法為先對鈦合金基體進(jìn)行清洗以及抽真空,濺射沉積氮化鈦薄膜層,再濺射沉積碳化鈦薄膜層,然后分別重復(fù)沉積氮化鈦薄膜層與碳化鈦薄膜層一次,再制備一層摻鋁的類金剛石薄膜層,最后進(jìn)行濺射后處理。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明制備多層薄膜成品率高、方便、快捷、高效,其制備而成的薄膜與基體、薄膜與薄膜之間結(jié)合力大、內(nèi)應(yīng)力小,具有很好的耐摩擦磨損性能,可適用于航空航天、地質(zhì)鉆探等高強(qiáng)度作業(yè)領(lǐng)域。
聲明:
“適用于鈦合金表面的納米多層薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)