本發(fā)明公開一種基于MOFs的復合熱界面材料，原位生長于電子元器件與散熱器之間，為納米金屬基MOFs復合材料、石墨烯?MOFs復合材料、碳納米管?MOFs復合材料中的任一種?；贛OFs的復合熱界面材料的制備方法，首先是配制金屬有機配合物母液，然后滴加金屬有機配合物母液，在基體表面原位生長MOFs膜，經過高溫碳化后形成多孔隙泡沫狀表面結構，所述基體為電子元器件或散熱器。本發(fā)明充分利用Al?MOFs的高孔隙率、低密度、大比表面積、孔道規(guī)則、孔徑可調、拓撲結構多樣性及可裁剪性等優(yōu)點，增加電子元器件與散熱器表面接觸界面的連續(xù)性，其泡沫狀孔道結構填充界面間未接觸的孔道，大大降低界面接觸熱阻。