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鍍膜用C/h-BN復(fù)合蒸發(fā)舟及其制造方法

649   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:04:14
本發(fā)明涉及真空蒸發(fā)鍍鋁薄膜用蒸發(fā)元件及其制作方法,具體涉及一種鍍膜用C/h?BN復(fù)合蒸發(fā)舟及其制造方法,該復(fù)合蒸發(fā)舟的舟體由C/h?BN復(fù)合材料制成,所述C/h?BN復(fù)合材料由多層六方氮化硼和石墨發(fā)熱體自上而下交替疊放并通過(guò)熱壓燒結(jié)成一整體,其特征在于:所述舟體表層為帶有蒸發(fā)槽的六方氮化硼燒結(jié)層,所述舟體底層為石墨發(fā)熱體,該石墨發(fā)熱體表面至少涂覆一層抗氧化熱阻涂層。本發(fā)明所述蒸發(fā)舟的電阻率相對(duì)穩(wěn)定、發(fā)熱穩(wěn)定,避免了因局部發(fā)熱不均而導(dǎo)致蒸發(fā)材料的濺射,提高了鍍膜質(zhì)量。同時(shí)由于六方氮化硼燒結(jié)層保護(hù)了舟體,延長(zhǎng)了使用壽命。本發(fā)明所使用的抗氧化熱阻涂層,大幅度降低了石墨發(fā)熱體在真空環(huán)境下的熱輻射熱能散失,起到了節(jié)約電能的作用。
聲明:
“鍍膜用C/h-BN復(fù)合蒸發(fā)舟及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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