本發(fā)明屬于電子材料技術(shù)領(lǐng)域,涉及平面磁性陣列器件的制備方法。先將永磁陣列母板固定于基底下表面,然后在基底上表面均勻涂覆納米鐵氧體/光敏聚合物復(fù)合材料,然后靜置待納米鐵氧體磁性粒子在永磁陣列母板磁場的作用下按照母板的陣列圖形排布后曝光實現(xiàn)納米鐵氧體磁性粒子的固化,最后去除永磁陣列模板即可得到相應(yīng)的磁性陣列。本發(fā)明實質(zhì)上是利用永磁陣列母板復(fù)制磁性陣列;同時,本發(fā)明利用光敏聚合物來固定磁性陣列中的納米鐵氧體磁性粒子,解決了現(xiàn)有技術(shù)中“因圖形分辨率下降導(dǎo)致器件失效”的技術(shù)問題。本發(fā)明工藝簡單、操作容易、無需光刻和成本低廉,適于大規(guī)模生產(chǎn),在微電子、光電子、磁記錄及微波器件領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用前景。