本發(fā)明公開了一種多層鈦酸鋇與多層鐵酸鈷磁電復(fù)合薄膜的制備與轉(zhuǎn)移方法，主要解決現(xiàn)有1-3結(jié)構(gòu)的復(fù)合材料不能同時減小襯底鉗制效應(yīng)和漏電的問題。其實現(xiàn)步驟是：先在藍(lán)寶石襯底沉積一層氧化鎂薄膜，并在其上交錯沉積多層鐵酸鈷薄膜和多層鈦酸鋇薄膜；再在最后一層鈦酸鋇薄膜表面旋涂上聚甲基丙烯酸甲酯，用硫酸銨溶液除去單晶氧化鎂薄膜，使附有聚甲基丙烯酸甲酯的磁電復(fù)合薄膜與藍(lán)寶石襯底脫離；再將脫離藍(lán)寶石襯底的磁電復(fù)合薄膜轉(zhuǎn)移到后續(xù)所需的襯底上，得到多層鐵酸鈷薄膜和多層鈦酸鋇薄膜復(fù)合的自支撐磁電薄膜。本發(fā)明得到的多層鈦酸鋇和多層鐵酸鈷復(fù)合薄膜表面耦合大，增強了磁電特性，減小了襯底鉗制和漏電問題，可用于磁電傳感器的制備。