本發(fā)明涉及一種能夠在室溫下檢測低濃度NO2的氣敏元器件及其制備方法。制備方法包括:(1)多層Ti3C2MXene的合成;(2)TiO2/Ti3C2的合成;(3)TiO2?x/Ti3C2的合成;(4)氣敏元器件的制作。本發(fā)明目的是為了解決現(xiàn)有MXene基材料氣敏性差的問題,該制備方法工藝簡便、成本低,利用該方法制備的TiO2?x/Ti3C2
復(fù)合材料中TiO2具有特殊的高能高活性的{001}晶面和豐富的氧空位,且復(fù)合材料具有肖特基異質(zhì)結(jié)構(gòu),在室溫下對10ppmNO2的響應(yīng)(ΔR/Ra)分別高達(dá)4.6,遠(yuǎn)超于現(xiàn)有的MXene基氣敏材料。此外,TiO2?x/Ti3C2還具有良好的循環(huán)響應(yīng)。本發(fā)明為構(gòu)建具有特殊晶面和富含氧空位的MOS/MXene氣體敏感材料提供了有效的方法,進(jìn)一步推動氣敏技術(shù)的發(fā)展。
聲明:
“能夠在室溫下檢測低濃度NO2的氣敏元器件及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)