本發(fā)明公開了一種高穩(wěn)定、低暗電流全無機(jī)
鈣鈦礦光電探測(cè)器及其制備方法。所述倒置結(jié)構(gòu)光電探測(cè)器包括透明導(dǎo)電正電極、超薄
氧化鋁層、全無機(jī)鈣鈦礦光吸收層、電子傳輸層、金屬負(fù)電極。所述制備方法是采用ALD沉積超薄氧化鋁薄膜和氧化鈦薄膜,制得器件暗電流低、穩(wěn)定性高,器件暴露空氣超過100天仍然表現(xiàn)出良好的光電性能。在鈣鈦礦與金屬電極界面引入超薄氧化鈦薄膜,實(shí)現(xiàn)界面能帶匹配,提高器件了響應(yīng)速度和靈敏度。本發(fā)明制備方法適用于柔性探測(cè)器制作,為實(shí)現(xiàn)無機(jī)鈣鈦礦光電探測(cè)器及其柔性器件產(chǎn)業(yè)化,提供一種有效、可行、低成本的方案。
聲明:
“高穩(wěn)定、低暗電流全無機(jī)鈣鈦礦光電探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)