本發(fā)明的硅純化裝置的第1實施方式為一種硅純化裝置,該裝置在減壓容器內(nèi)具備能夠保持熔融硅(2)的坩堝(1)、能夠設(shè)置在坩堝(1)上方的保溫蓋(5)、以及對熔融硅(2)進行加熱的加熱裝置(3),其中,在坩堝(1)的側(cè)面外周部具有第1絕熱材料(4),保溫蓋(5)為碳氈制板狀構(gòu)件(502),在其至少兩個主面上具有碳
復合材料(501a,501b),保溫蓋(5)形成貫通其兩個主面之間的開口部(6),在保溫蓋(5)設(shè)置于坩堝(1)上面的狀態(tài)下,設(shè)置保溫蓋(5)的坩堝(1)側(cè)主面的碳復合材料(501a),使其覆蓋第1絕熱材料(4)的上面。
聲明:
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