本發(fā)明公開了一種材料擊穿場(chǎng)強(qiáng)的測(cè)試設(shè)備,它還包括XYZ三坐標(biāo)支架(1)、激光測(cè)距儀器(5),在所述真空室(2)內(nèi)設(shè)置有XYZ三坐標(biāo)支架(1)和固定陽(yáng)極裝置(8),該固定陽(yáng)極裝置(8)固定有陽(yáng)極(4),所述XYZ三坐標(biāo)支架(1)用于固定作為陰極的被測(cè)試樣(3);在真空室(2)外垂直于XYZ三坐標(biāo)支架(1)方向處設(shè)置激光測(cè)距儀器(5),激光測(cè)距儀器(5)與真空室(2)連通。本發(fā)明能進(jìn)行三維方向的精確調(diào)整對(duì)正,并能精確測(cè)量出擊穿距離?？蛇m用于各種金屬材料或金屬基復(fù)合材料的擊穿場(chǎng)強(qiáng)、擊穿電流的精確測(cè)試,以及陰極斑點(diǎn)的發(fā)生過程,陰極斑點(diǎn)形貌的實(shí)時(shí)觀察。