不同的實施例可用于基于激光的改性工件的靶材料，同時有利地實現(xiàn)加工處理量和/或質量的提高。加工的方法的實施例可包括以足夠短的脈沖寬度將激光脈沖聚焦并導向工件的一區(qū)域，以便通過從所述區(qū)域非線性光學吸收有效地去除材料并且熱影響區(qū)的量和所述區(qū)域內或區(qū)域附近或兩者的材料上的熱應力相對于使用具有更長脈沖的激光可得到的量有減少。在至少一個實施例中，超短脈沖激光系統(tǒng)可包括光纖放大器或光纖激光器中的至少一個。不同的實施例可適用于切割、切片、劃片和在復合材料上或復合材料內形成結構中的至少一種。