本發(fā)明公開了一種柔性氣敏傳感器,包括依次疊層設(shè)置的襯底、第一電極、第一介電層、氣體敏感材料層、第二介電層以及第二電極;所述襯底為柔性襯底,所述氣體敏感材料為
碳納米管材料或其功能化
復(fù)合材料、
石墨烯納米材料或其功能化復(fù)合材料。本發(fā)明還公開了如上所述的柔性氣敏傳感器的制備方法,應(yīng)用印刷電子工藝在所述柔性襯底上依次制備第一電極、第一介電層、氣體敏感材料層、第二介電層以及第二電極。本發(fā)明提供的柔性氣敏傳感器結(jié)構(gòu)簡單、制備工藝簡便、靈敏度高、成本較低。
聲明:
“柔性氣敏傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)